一般項目

工作限高

50 mm （含）以下

工作限重

30公斤

外型尺寸

2200 x 1800 x 1880 (mm)

機器重量

2500 公斤 （含）以下

● 適用LCD面板尺寸 最大80寸

● 點(3umX 3um), 線(長3umX125um ), 塊 (125um X 125um), (修補放大比率 20倍)

● 影像拍照、存檔與上傳

● 光閘紅光與紅框雙重顯示

● 光閘尺寸、鏡頭倍率及雷射功率參數儲存與選用

● 開放式XYZ軸光學尺，可精確定位

● AOI（TXT）鏈接到驅動器的位置坐標的缺陷

● 自動補償影像中心及鏡頭焦距誤差

● 檯面正壓吹浮功能及負壓吸附功能

● 工作臺具備震動隔離器

● 無熔絲保護斷路器保護

● 安全設備不尋常的緊急停止

● 工作環境溫度 21℃+ / -2℃

● 工作環境濕度 55 ± 5％RH

雷射系統

雷射類型

NEW WAVE Polaris ST ND-YAG.

波 長

1064 / 532 nm 雙波長

輸入功率

30mJ(532 nm).

顯微鏡頭

Mitutoyo VMU-L 4Lens auto-revolver.

鏡頭

5倍(觀察)、10倍、20倍、50倍(修補、LCD專用)

操作模式

Auto .

調整差質

Within ± 10μm.

光束模式

長型 / 方型及θ角± 45 °旋轉、可調

工作平臺

工作平臺尺寸

820 mm X700mm

XY軸移動範圍

820 mm X 750 mm

XY軸移動速度

over 50 mm/second

Z軸移動範圍

50 mm

操作模式

XYZ 軸四段電控

顯像系統

電腦系統

機架式電腦、影像擷取卡、顯示卡、軸卡

顯示器

17 吋 LCD 顯示器（含）以上

取像機

CCD watec WAT-221s.NTCS。

放大倍率

75、364、750、1820.

光源

可調，同軸光源與光班光源及 LED 背光模組

顫噪控制系統

1、微動手臂

2、微量注射器

乾燥燒結系統

1、定影加熱時間和溫度控制

2、移動定位自動加熱和乾燥過程

氣電規格

1、輸入電源：AC單相220V，50 ～ 60HZ，10A

2、氣壓：6公斤/平方厘米。